发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6442117(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870198688 申请日期 1987.08.08
申请人 CANON INC 发明人 NISHIGAKI YUJI;YAMAGATA KENJI;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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