发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6442583(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870197483 申请日期 1987.08.06
申请人 NEC CORP 发明人 OZAKI JUN
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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