发明名称 PROCESS FOR GROWING CRYSTAL USING MOLECULAR BEAM
摘要
申请公布号 JPS6442391(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870197650 申请日期 1987.08.07
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA HIROSHI
分类号 C30B29/40;C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
地址