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发明名称 SPUTTER ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6442130(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870198200 申请日期 1987.08.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI YASUMICHI;SAITO YUTAKA;SASABE SHUNJI;NAKAJIMA KAZUHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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