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发明名称 VERTICAL-TYPE REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6442119(A) 申请公布日期 1989.02.14
申请号 JP19870198509 申请日期 1987.08.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MINO YOSHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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