发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6441274(A) 申请公布日期 1989.02.13
申请号 JP19870197618 申请日期 1987.08.07
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIUCHI HIROAKI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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