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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6441240(A)
申请公布日期
1989.02.13
申请号
JP19870197609
申请日期
1987.08.07
申请人
NEC CORP
发明人
MURAKAMI SHIGERU
分类号
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L29/43
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
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