发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6439749(A) 申请公布日期 1989.02.10
申请号 JP19870196851 申请日期 1987.08.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKUMURA YOSHIKI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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