发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR BY PLASMA REACTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6439728(A) |
申请公布日期 |
1989.02.10 |
申请号 |
JP19870196833 |
申请日期 |
1987.08.05 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANAKA EISUKE;HARADA SHIGERU;OBATA MASANORI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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