发明名称 INTRODUCE METHOD FOR IMPURITY TO SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6439721(A) 申请公布日期 1989.02.10
申请号 JP19870196918 申请日期 1987.08.06
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SEKI YASUKAZU
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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