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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6439718(A) 申请公布日期 1989.02.10
申请号 JP19870196912 申请日期 1987.08.06
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ITO NAOKI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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