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发明名称 ION BEAM NEUTRALIZATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6438957(A) 申请公布日期 1989.02.09
申请号 JP19870195680 申请日期 1987.08.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUMURA YASUSHI
分类号 H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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