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发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6439380(A) 申请公布日期 1989.02.09
申请号 JP19870195918 申请日期 1987.08.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI NAOKI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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