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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM SYSTEM
摘要
申请公布号
JPS6439022(A)
申请公布日期
1989.02.09
申请号
JP19870195702
申请日期
1987.08.04
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MURAKAMI EISHIN;YABUNAKA FUMIHARU;YASUNAGA MASASHI
分类号
H01J37/305;H01J37/147;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01J37/305
代理机构
代理人
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