摘要 |
Un vaporiseur (10) à colonnes garnies parallèles multiples utilisé pour vaporiser une substance chimique ayant une température de décomposition relativement basse comprend une coque (12); une pluralité de colonnes verticales et parallèles de vaporisation (34) agencées dans la coque, chaque colonne ayant des parois intérieures, une extrémité supérieure ouverte (14) et une extrémité inférieure ouverte (16); un agencement distributeur (152) qui distribue uniformément la substance chimique dans les extrémités supérieures ouvertes (14) des colonnes de vaporisation (34), la substance chimique s'écoulant alors vers le bas dans celles-ci; un fluide échangeur de chaleur qui chauffe les colonnes de vaporisation de façon à fournir la chaleur nécessaire pour vaporiser la substance chimique contenue dans les colonnes; et une alimentation en gaz (132) qui fournit du gaz aux extrémités inférieures (16) des colonnes de vaporisation (34), de sorte que la substance chimique est vaporisée, entraînée verticalement par le gaz, et sort par le haut du vaporiseur (10). |