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Bei einer Vorrichtung zum Herstellen von Schichten mit gleichmäßigem Dickenprofil auf Substraten durch Kathodenzerstäubung (Fig. 1) ist ein zwischen Rollen (5, 5', ...) gehalten und geführter Substratschlitten (6) vorgesehen, der durch die Beschichtungskammer (2) hindurch bewegbar ist und der auf seiner der Kathode (3) zugewandten Seite drehbar gelagerte Substratscheiben (13, 13', ...) aufweist, deren Rotationsachsen jeweils quer zur Bewegungsebene des Substratschlittens (6) angeordnet sind. Auf der der Kathode (3) abgewandten Seite des Substratschlittens (6) sind in der Beschichtungskammer (2) mit Permanentmagneten (11, 11', ...) bestückte, motorisch angetriebene Wellen (10, 10', ...) gelagert, deren Längsachsen sich in einer zur Bewegungsebene des Substratschlittens (6) parallelen Ebene erstrecken und die in Läuferscheiben (12, 12', ...), die mit den Drehachsen (16, 16', ...) der Substratscheiben drehfest vebunden sind, einen Scheibenstrom erzeugen. Infolge des Scheibenstroms gelangen die Läuferscheiben (12, 12', ...) und damit auch die Substratscheiben (13, 13', ...) beim Passieren der Wellen (10, 10', ...) in Rotation. Auflistung der Einzelteile 1. Maschinengestell, 2. Beschichtungskammer, 3. Zerstäubungskathode, 4. Lagerbock, 5. Rolle, Führungsrolle, 6. Substratschlitten, 7. umlaufender Rand der Rolle, 8. Längsnut (V-förmig), 9. Längskante, 10. Welle, 11. Magnet, 12. Läuferscheibe, 13. Substratscheibe, 14. Nabe, 15. Nabe, 16. Drehachse, 17. Wälzlager
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