发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6437851(A) 申请公布日期 1989.02.08
申请号 JP19870194676 申请日期 1987.08.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 URAOKA KOUJI;EZAKI TAKEYA
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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