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发明名称 METHOD OF GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6437832(A) 申请公布日期 1989.02.08
申请号 JP19870193733 申请日期 1987.08.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTSUKA NOBUYUKI;OZEKI MASASHI;MOCHIZUKI KOJI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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