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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER CLEANER
摘要
申请公布号
JPS6437841(A)
申请公布日期
1989.02.08
申请号
JP19870193681
申请日期
1987.08.04
申请人
NEC CORP
发明人
SAITO MASAKI
分类号
B08B7/04;H01L21/304
主分类号
B08B7/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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