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发明名称 MASK-TO-WAFER ALIGNMENT UTILIZING ZONE PLATES
摘要
申请公布号 EP0189435(B1) 申请公布日期 1989.02.08
申请号 EP19850902892 申请日期 1985.05.29
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 FELDMAN, MARTIN;HEIMANN, AARON, PETER;JOHNSON, ARTHUR, WILLLIAM;RETAJCZYK, FRANK, THEODORE, JR.;WHITE, LAWRENCE, DONALD
分类号 G01B11/24;G03F1/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00;H01L23/54 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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