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发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6435916(A) 申请公布日期 1989.02.07
申请号 JP19870190034 申请日期 1987.07.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 HASEGAWA NORIO;TANAKA TOSHIHIKO;FUKUDA HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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