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经营范围
发明名称
GAS ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6435915(A)
申请公布日期
1989.02.07
申请号
JP19870191451
申请日期
1987.07.30
申请人
KYOCERA CORP
发明人
IWASAKI AKINORI;SHIRAMATSU SHIGEKI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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