发明名称 BARREL TYPE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6435909(A) 申请公布日期 1989.02.07
申请号 JP19870190781 申请日期 1987.07.30
申请人 SONY CORP 发明人 KAWAI HIROHARU;NAKAMURA FUMIHIKO;ENOMOTO MASAHISA;YONEYAMA KEIICHI;KAISE KIKUO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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