Method for manufacturing semiconductor absolute pressure sensor units,申请号US19880158750-传众专利搜索

发明名称	Method for manufacturing semiconductor absolute pressure sensor units
摘要
申请公布号	US4802952(A)	申请公布日期	1989.02.07
申请号	US19880158750	申请日期	1988.02.22
申请人	HITACHI, LTD.	发明人	KOBORI, SHIGEYUKI;YAMADA, KAZUJI;KOBAYASHI, RYOICHI;MIYAZAKI, ATSUSHI;SUZUKI, SEIKOU
分类号	G01L7/00;G01L9/00;G01L9/04;H01L27/20;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306;B44C1/22;C03C15/00;C23F1/02	主分类号	G01L7/00
代理机构		代理人
主权项
地址