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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6437027(A) 申请公布日期 1989.02.07
申请号 JP19870192917 申请日期 1987.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HORI TAKASHI
分类号 H01L21/318;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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