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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPS6437018(A)
申请公布日期
1989.02.07
申请号
JP19870193216
申请日期
1987.07.31
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
HAYASHI YOSHINOBU;JINNAI SHINPEI
分类号
H01L21/302;C23C16/50;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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