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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6436045(A) 申请公布日期 1989.02.07
申请号 JP19870191902 申请日期 1987.07.31
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KATO JURI
分类号 H01L21/84;H01L21/20 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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