发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPS6436097(A) 申请公布日期 1989.02.07
申请号 JP19870191652 申请日期 1987.07.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IYAMA TSUYOSHI
分类号 H01L21/336;H01L29/786;H05K3/06;H05K3/38 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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