MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19870192831-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPS6437011(A)	申请公布日期	1989.02.07
申请号	JP19870192831	申请日期	1987.07.31
申请人	NEC CORP	发明人	MURAKAMI SHIGERU;KUDO OSAMU
分类号	H01L21/28	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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