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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPS6433842(A) 申请公布日期 1989.02.03
申请号 JP19870190649 申请日期 1987.07.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU ATSUO;KANBARA KAZUHIRO
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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