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经营范围
发明名称
FORMATION OF SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPS6433935(A)
申请公布日期
1989.02.03
申请号
JP19870189628
申请日期
1987.07.29
申请人
SEIKO INSTR & ELECTRON LTD
发明人
NAKANISHI AKISHIGE
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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