发明名称 PRODUCTION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPS6431974(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870188378 申请日期 1987.07.28
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 NAKAMURA OSAMU;KAZAHAYA TOMIO
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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