发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6432680(A) |
申请公布日期 |
1989.02.02 |
申请号 |
JP19870187531 |
申请日期 |
1987.07.29 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOBAYASHI MASAYOSHI;YAMANE MASAO;SASAKI YOSHIMITSU;TAKAHASHI SUSUMU |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|