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经营范围
发明名称
FORMATION OF AMORPHOUS SILICON FILM
摘要
申请公布号
JPS6431979(A)
申请公布日期
1989.02.02
申请号
JP19870187713
申请日期
1987.07.29
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAMACHI HIDEKI;ARAKI MAKOTO
分类号
C23C16/30;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511
主分类号
C23C16/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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