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发明名称 VACUUM EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6431963(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870187365 申请日期 1987.07.27
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 SUZUKI TAKUYA;FUKUDA MITSUAKI
分类号 C23C14/22;C23C14/56 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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