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发明名称 VAKUUM-SICHERHEITSVENTIL MIT PUFFERVOLUMEN
摘要
申请公布号 DE3817581(A1) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 DE19883817581 申请日期 1988.05.24
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER, MASS., US 发明人 PEACOCK, R. NORMAN, LAFAYETTE, COL., US
分类号 F04B37/16;F16K31/42;F16K51/02 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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