发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6431451(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870187960 申请日期 1987.07.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUMAMOTO TOSHIO;NAKAGAWA SHINICHI;NAKAYA MASAO
分类号 H01L27/12;H01L21/82;H01L27/00;H01L27/118 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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