发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6430323(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870186972 申请日期 1987.07.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 FURUTOKU SHOICHI;NISHIO YOJI;MURABAYASHI FUMIO;KAMINAGA YASUO
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H03K17/16;H03K19/00;H03K19/003;H03K19/0175;H03K19/094;H03K19/0948 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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