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经营范围
发明名称
METHOD OF ETCHING ALUMINUM IN PLASMA
摘要
申请公布号
JPS6430227(A)
申请公布日期
1989.02.01
申请号
JP19880149905
申请日期
1988.06.17
申请人
TEGAL CORP
发明人
OORU DEE KUROO
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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