发明名称 FIELD EMISSION TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6431331(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870187082 申请日期 1987.07.27
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 MUTSUKAWA AKIO;HAGIWARA HIROTOSHI
分类号 H01J27/26;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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