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发明名称 PROCEDURE FOR REPRODUCEABLE FORMATION OF LAYERS OF MATERIAL AND/OR FOR THE HANDLING OF SEMICONDUCTOR MATERIAL-LAYERS
摘要
申请公布号 EP0289661(A3) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 EP19870118299 申请日期 1987.12.10
申请人 MESSERSCHMITT-BOLKOW-BLOHM GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 MEYER, MEINHARD, DR.;STORMER, OSWALD
分类号 C23C14/54;C23C16/52;(IPC1-7):H01L21/66;G01R27/30;H01C17/06;H01L21/205 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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