| 摘要 |
<p>Un distributeur de gaz (35) comprend un plénum (38) et une fente de distribution (40) entourés d'une chambre de fluide de refroidissement généralement en V (43). La circulation d'un fluide de refroidissement approprié tend à maintenir le plénum (38) et la fente de distribution (40) à une température inférieure à 400° F pour permettre la distribution de diborane à l'état gazeux sur la surface supérieure d'un ruban de verre chauffé (30). Des blocs de carbone (53) sont utilisés pour stabiliser la température du verre au-dessus de 950° F afin de permettre le depôt correct du bore à la surface du verre. Une isolation (52, 57) entre les blocs de carbone (53) et les parois externes (44, 45) de la chambre du fluide de refroidissement (43) réduit au minimum le transfert de chaleur, et la forme de la chambre du fluide de refroidissement (43) réduit au minimum l'exposition du verre aux températures plus basses dans la chambre du fluide de refroidissement (43).</p> |
