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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR ION IMPLANTATION FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6430155(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870183855 申请日期 1987.07.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MORI HARUHISA
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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