Plasma coating vessel with a shortened cycling time and facilitated cleaning.

摘要

Die Zykluszeiten von Plasmabeschichtungskammern (1) werden verkürzt, indem für ihre Herstellung statt wie bislang üblich austenitische Stähle solche ferritischen Charakters verwendet werden, die günstigere magnetische und Wärmeleiteigenschaften aufweisen; Aufheiz- und Abkühlphasen eines Zyklus können so verkürzt werden. Wird die Kammer zumindest an ihrer Innenseite (4) vernickelt, so wird nicht nur der ferritische Stahl gegen Rost geschützt, sondern auch die Reinigung der Kammer erleichtert, da insbesondere das häufig verwendete Titannitrid auf Nickel schlecht haftet.