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发明名称 TRANSFER DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号 JPS6430448(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870184166 申请日期 1987.07.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAZURU KAZUHIRO
分类号 H02K41/02;B65G54/02 主分类号 H02K41/02
代理机构 代理人
主权项
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