发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6430211(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870185557 申请日期 1987.07.27
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMAMOTO AKIO;ITO YOSHIO;NISHIOKA TAKASHI;SUGO MITSURU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址