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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6430218(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870186193 申请日期 1987.07.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGAWA SHINICHI;YOSHIDA TAKEHITO;OKUDA SEIJI
分类号 H01L21/768;H01L21/205;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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