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发明名称
METHOD OF REMOVING PHOTORESIST ON A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
EP0234387(A3)
申请公布日期
1989.02.01
申请号
EP19870101772
申请日期
1987.02.09
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
FUJIMURA, SHUZO FUJITSU LIMITED PATENT DEPARTMENT;MOTOKI, YASUNARI FUJITSU LIMITED PATENT DEPARTMENT;KATO, YOSHIKAZU FUJITSU LIMITED PATENT DEPARTMENT
分类号
H01L21/30;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/26
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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