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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6430244(A) 申请公布日期 1989.02.01
申请号 JP19870186965 申请日期 1987.07.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YANAI TETSURO;KOBAYASHI YASUTAKA
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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