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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6428823(A) 申请公布日期 1989.01.31
申请号 JP19870183396 申请日期 1987.07.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 TORII ZENZO;SATO YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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